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真（zhēn）空爐的真空度測量

2021-03-24  瀏覽：1437次

　　真空（kōng）測量是真空技術（shù）中的一個重要組（zǔ）成部分。用於測量真空度的儀器稱（chēng）為真空計。  真空熱處理（lǐ）爐（lú）及真空熔煉爐常用的真空計有：熱偶真空計電離真空計等。它們的工作原理如下：

　　（一（yī））熱偶真空計

　　熱偶真空計由敏（mǐn）感元件、熱偶規管和測量（liàng）儀器組成。熱偶規管與被測真空係（xì）統相通，外殼（ké）為玻璃管，管內有（yǒu）加熱絲和熱偶絲。熱偶絲的冷端和熱端溫度（dù）不同時，由於溫差效應，在回路中有熱電（diàn）勢產生。如加熱絲（sī）電壓保持恒定，則熱偶絲　　的電（diàn）勢限（xiàn）決於加熱絲的溫度，而加熱絲的溫度與被測氣體的壓（yā）強有關。壓強（qiáng）低，氣體熱導率小，被氣體（tǐ）帶走的熱量少，加熱（rè）絲溫度升高，熱偶絲的熱電勢增大；反之（zhī），則熱電勢減（jiǎn）少。回路中（zhōng）的熱電勢用毫（háo）伏（fú）表測量，表中的毫伏數即反映出真空

　　度的高低。為了保證加熱絲的電（diàn）壓穩定，而接入了穩壓電源（yuán）。所（suǒ）以測量（liàng）儀器是由測量（liàng）熱電勢的毫伏表和規管加熱絲穩壓（yā）電源兩（liǎng）部分組成。

　　（二）電（diàn）離真空計

　　這種真空計主要用於測量高（gāo）真空度。在低壓強氣體中，氣體分子被電離（lí）生成的正離子數與氣（qì）體壓（yā）強成正比按照（zhào）離產生的方法不同，利用熱陰極發射電子使氣體電離的真空計叫熱陰極電離（lí）真空計；其中，熱陰極電離真空計由熱陰極規管和測量儀器組成。測量儀器由規管工作電源、發射電流穩壓器、離（lí）子流測量放大器等部分（fèn）組成。熱陰極電離規管與被測真空係統相通。熱陰極電離規管是一個三極管，管內有陰極（jí）、柵及和收集極。收集極電位相對於陰極電負電位；柵極相對於陰極電（diàn）正電位。當電離規管通電加熱後，陰極發射電（diàn）子，在電子到達柵極的過程中，與氣體分子（zǐ）碰撞而產生正離子和電（diàn）子的電離現象。當發射電（diàn）流（liú）一定時，正離子數日與被測氣（qì）體壓強（qiáng）成正比。正離子被收（shōu）集極收集（jí）後，經測量電路放大，可由批示電表讀出所要測量的（de）真空度。

　　（三（sān））複合真空計

　　通常，對低真空和高真空的測量不能用一種真空計來完成，而（ér）應采用複合真（zhēn）空計，應用較多的是電離與熱偶式複合真（zhēn）空（kōng）計。它的測量範圍為13.33--666.6×10-8Pa。熱偶真空計測量（10-1--10-3)×133.32Pa的低真空；電離（lí）真空計測量133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。複合真空（kōng）計附（fù）有一（yī）個熱偶規管、一個電離規管，分（fèn）別接在真空係統（tǒng）上，通過（guò）旋鈕可分別給兩個（gè）規管加熱，並選擇使用。


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